高折射率镀膜材料——钛酸镧

当前，应用光学发展迅速，大规模、连续化镀膜生产已经得到广泛应用，数码光学、显示器等的发展对光学薄膜有大量需求。特别是用于可见波段的各种滤光片，全球一年的需求量远远超过10亿片。而且，随着规模化的不断发展，薄膜成本越来越受到重视。制约光学薄膜元件的成本主要有两个因素：镀膜材料和薄膜良品率。因此，要不断发展低成本镀膜材料制备技术，同时提高镀膜过程稳定性以提高良品率。

光学薄膜膜系都是通过交替沉积高、低折射率薄膜来实现特定光学功能。目前，低折射率材料以二氧化硅（SiO2）为代表，性能基本稳定，成本降低空间有限。然而高折射率材料往往价格较高，而且有些镀膜材料的性能也不是很稳定，研究表明，某些稀土化合物如钛酸镧（LaTiO3）的加入将能显著改善这种不稳定的性能，在此基础上得到高稳定的高折射率材料。

通过钛酸镧（LaTiO3）材料的单层膜和多层减反膜AR的制备，了解钛酸镧材料的薄膜性能。首先制备的单层膜用分光光度计测定3次的薄膜在整个可见波段的折射率及消光系数，如图1，2所示。

图1 单层膜的折射率

由图1可知，在整个可见波段范围内，钛酸镧（LaTiO3）材料的折射率在2.03~2.18之间，色散比较好，且3次的折射率的平均偏差为0.14，重复性比较好。由图2可知，在整个可见波段范围内，消光系数k值在0.0005~0.0009之间，且3次薄膜的k值比较稳定。

图2 单层膜的消光系数

多层减反膜AR的制备是以二氧化硅（SiO2）为低折射率材料，制备AR膜，基片为K9玻璃，重复镀3次，每次镀3片，分别放置于行星罩的上中下位置以分析薄膜的均匀性，用分光光度计测定薄膜在整个可见波段的反射率，如图3所示。

图3 多层AR膜反射率随波长的变化

由图3可以看出，在波长430和650nm处反射率最低，约为0.1%，在波长550nm处，反射率9个基片薄膜的折射率差约为0.07%，表现出良好的稳定性及重复性。

钛酸镧（LaTiO3）光学镀膜材料在折射率、消光系数及多层AR膜方面均表现出良好的性能及稳定性，具有良好的推广应用前景。爱特斯是一家专业的真空镀膜材料生产厂家，其生产的钛酸镧镀膜料受到广大客户认可，欢迎前来咨询了解！