电阻加热蒸发方式介绍

2019-11-22

电阻法蒸发是用丝状或者片状的高熔点金属做成适当形状的蒸发源,将镀膜料放在其中,接通电源,电阻加热镀膜料而使其蒸发。


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对蒸发源材料的基础要求是:高熔点、低蒸发率,在蒸发温度下不会与镀膜料发生化学反应或互溶,具有一定的机械强度、实际上对所有加热方式的蒸发源都有这样的要求。另外电阻加热方式还要求蒸发源材料与镀膜料容易润湿,以保证蒸发状态的温度。常用的蒸发源材料有钨、钼、钽、石墨氮化硼等。电阻蒸发源的形状是根据蒸发要求和特性确定的,通常又称为线形、舟形。

 

电阻加热的优点:

1、电阻加热制程简单。

2、电源设备价格便宜。

3、蒸发源形状容易配合需要做成各种形式。


电阻加热的缺点:

1、由于需先加热电阻片再传热给薄膜材料,因此电阻片多少会与材料起作用,或引起杂质。此点虽可加隔化学性质稳定之陶瓷层,但是耗电量增加。

2、电阻片能加热,但是温度有限制,对于高熔点的氧化物,大部分无法熔融蒸镀。

3、电阻片蒸镀速率有限。

4、材料若为化合物,则有被热分解的可能。闪燃法可蒸镀部分此类材料的薄膜。

5、镀出来的薄膜的质量不够硬,密度不高。