薄膜厚度及其测量方法

薄膜厚度是薄膜最重要的参数之一，它影响着薄膜的各种性质及其应用。

薄膜淀积速率是制膜工艺中的一个重要参数，它直接影响薄膜的结构的特性。

重点：薄膜厚度的测量和监控。

厚度：是指两个完全平整的平行平面之间的距离。

理想薄膜厚度：基片表面到薄膜表面之间的距离。

由于薄膜具有显微结构，要严格定义和精确测量薄膜厚度，实际上比较困难的。

薄膜厚度的定义是与测量方法和目的相关的。

膜厚的测试方法：

1.形状膜厚：

测试手段及方法：机械方法（触针法，测微计法）、光学方法（多次反射干涉法，双光纤干涉法）、其他方法（电子显微镜法）

2. 质量膜厚：

测试手段及方法：质量测定法（化学天平发，微量天平法，扭力天平法，石英晶体振荡法）、原子数测量法（比色法、X射线荧光法、离子探针法、放射性分析法）

3. 物性膜厚：

测试手段及方法：电学方法（电阻法、电容法、涡流法、电压法）、光学方法（干涉色法、椭圆偏振法、光吸收法）